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J-GLOBAL ID：200903073274010510
プローブ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994299308
Publication number (International publication number)：1996045997
Application date： Dec. 02, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】簡単な構造で、カセットをカセット載置台の正規位置に確実に位置決めすることができるプローブ装置を提供することにある。【構成】複数の半導体ウエハWを収納するとともに底面に位置決め部材16を突設したウエハカセット6を有し、本体に前記ウエハカセット6を着脱可能に載置するカセット載置台12を設けたプローブ装置において、前記カセット載置台12の載置面12aに前記ウエハカセット6が正規位置に位置決めされたときに前記位置決め部材16と係合して前記ウエハカセット6を保持する係合凹部18を有する保持部材17を設けたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
複数の被検査体を収納するとともに底面に位置決め部材を突設したカセットを有し、装置本体に前記カセットを着脱可能に載置するカセット載置台を設けたプローブ装置において、前記カセット載置台の載置面に前記カセットが正規位置に位置決めされたときに前記位置決め部材と係合して前記カセットを保持する係合凹部を有する保持部材を設けたことを特徴とするプローブ装置。
IPC (4)：
H01L 21/66
, B65G 49/07
, G01R 31/26
, H01L 21/68
