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J-GLOBAL ID：200903073276925647

波長変換装置および該波長変換装置を用いた紫外レーザ装置

Inventor： 大槻 朋子 ,  大和 壮一 ,  原田 昌樹
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997165029
Publication number (International publication number)：1998339891
Application date： Jun. 06, 1997
Publication date： Dec. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】 基本波として高ピーク出力のレーザ光を必要とすることなく、波長変換効率が高く且つコンパクトな構成を有する波長変換装置。【解決手段】 第2の非線形光学結晶(21)における周波数ω1 のレーザ光のビーム中心位置と周波数2ω2 (4ω1 )のレーザ光のビーム中心位置とを共通の光学素子を用いてほぼ一致させるためのビーム中心位置調節手段(24、25)と、第2の非線形光学結晶(21)における周波数ω1 のレーザ光のビーム形状と周波数2ω2 (4ω1 )のレーザ光のビーム形状とを共通の光学素子を用いて整合させるためのビーム形状整合手段(26)とを備えている。

Claim (excerpt)：

複屈折性を有する第1の非線形光学結晶を有し、該第1の非線形光学結晶に入射した周波数ω1 のレーザ光をその周波数を変化させることなく透過させて射出するとともに、前記第1の非線形光学結晶に常光として入射した周波数ω2 のレーザ光に基づいてビーム形状が所定方向に延びた周波数2ω2の異常光を発生させて射出する第二高調波発生手段と、複屈折性を有する第2の非線形光学結晶を有し、前記第1の非線形光学結晶を介して前記第2の非線形光学結晶に入射した周波数ω1 のレーザ光と、前記第1の非線形光学結晶を介して前記第2の非線形光学結晶に入射した周波数2ω2 のレーザ光とに基づいて、周波数(ω1 +2ω2 )のレーザ光を発生させて射出する和周波発生手段と、前記第2の非線形光学結晶における前記周波数ω1 のレーザ光のビーム中心位置と前記周波数2ω2 のレーザ光のビーム中心位置とを共通の光学素子を用いてほぼ一致させるためのビーム中心位置調節手段と、前記第2の非線形光学結晶における前記周波数ω1 のレーザ光のビーム形状と前記周波数2ω2 のレーザ光のビーム形状とを共通の光学素子を用いて整合させるためのビーム形状整合手段と、を備えていることを特徴とする波長変換装置。

IPC (4)：

G02F 1/37 ,  G02B 27/09 ,  H01S 3/094 ,  H01S 3/16

FI (4)：

G02F 1/37 ,  H01S 3/16 ,  G02B 27/00 E ,  H01S 3/094 S