表面検査装置および表面検査方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木下實三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997123987
Publication number (International publication number)：1998318935
Application date： May. 14, 1997
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】被測定物の形状に拘わらずその表面状態を精度よく定量化できかつ製品の表面検査にも適用できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。【解決手段】被測定物2の表面に光を照射する光源11と、被測定物2の表面に対向しかつ光源11から照射されて被測定物2の表面で反射された反射光を受光する対物レンズ12と、この対物レンズ12を通過する反射光のうち対物レンズ12にその光軸と平行な方向で入射した成分を検知して光量を求める光検出手段13と、対物レンズ12および光検出手段13の間の光路に設けられたスリット29とを有して表面検査装置1を構成する。これにより被測定物2の表面の光検出範囲をスリット29で絞り込むことができるから高精度に定量化できる。

Claim (excerpt)：

被測定物の表面に光を照射する光源と、前記被測定物の表面に対向しかつ前記光源から照射されて前記被測定物の表面で反射された反射光を受光する対物レンズと、この対物レンズに受光される反射光のうち、当該対物レンズにその光軸と平行な方向で入射した成分を検知してその光量を求める光検出手段と、前記対物レンズおよび光検出手段の間の光路に設けられたスリットとを備えたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G01B 11/24

FI (2)：

G01N 21/88 Z , G01B 11/24 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-065656
特開平4-065656
特開平1-169344

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