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J-GLOBAL ID：200903073336146073

マイクロ波プラズマ処理装置

Inventor： 渡辺 成一 ,  古瀬 宗雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992229679
Publication number (International publication number)：1994073566
Application date： Aug. 28, 1992
Publication date： Mar. 15, 1994
Summary：

【要約】【構成】マイクロ波を利用したプラズマ処理装置において、内部にモードパスフィルター7を有する共振器6を設けるように構成した。また上記共振器6として円形TE12共振器を用い、上記モードパスフィルター7として円形TE12モードパスフィルターを用いるよう構成した。【効果】共振器6の安定性が向上したので、より安定なプラズマを生成し、再現性良くプラズマ処理することが可能になった。

Claim (excerpt)：

マイクロ波を利用したプラズマ発生装置と減圧可能な処理室とガス供給装置と真空排気装置よりなるプラズマ処理装置において、内部にモードパスフィルターを有する共振器を設けたことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。

IPC (3)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/302 ,  H05H 1/46