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J-GLOBAL ID：200903073352259392

加速度センサ

Inventor： 林 雅秀
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991239280
Publication number (International publication number)：1993080071
Application date： Sep. 19, 1991
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】ゲージ部の構造をシリコン基板の3層構造にすることにより、接合時に発生する接合歪み低減,ナトリウム析出を抑える。【構成】シリコン微細加工技術によって、カンチレバーの先端に形成した可動電極を含むシリコン基板に対向した両側に酸化膜を形成したシリコン基板(可動電極と対向した部分だけは、酸化膜を除去)をウエハ直接接合で接合する。

Claim (excerpt)：

片持ち梁を形成した加速度センサ・ゲージ部の構成部材を全てシリコンで形成したことを特徴とする加速度センサ。