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J-GLOBAL ID：200903073396139599

有機ELデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および吐出検査装置、並びに有機ELデバイス製造装置、有機ELデバイス、有機ELデバイスの製造方法および電子機器

Inventor： 岡田 隆一 ,  藤村 久満
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 落合 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002330637
Publication number (International publication number)：2004165035
Application date： Nov. 14, 2002
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：

【課題】有機ELデバイス製造装置において液滴吐出ヘッドの吐出状況を簡単に検査することができると共に、有機ELデバイスの歩留まりを向上することができる、有機ELデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および吐出検査装置、並びに有機ELデバイス製造装置、有機ELデバイス、有機ELデバイスの製造方法および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】有機ELデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、液滴吐出ヘッド31の各ノズル49から吐出した飛翔中の機能液滴を、ストロボ121により照射して撮像し、その撮像結果を画像認識して、各ノズル49の吐出が正常に行われているか否かを判定することを特徴とする。【選択図】 図8

Claim (excerpt)：

基板に対し、液滴吐出ヘッドを相対的に走査してその多数のノズルから有機物を含む機能液滴を吐出して有機ELデバイスの成膜部を形成する有機ELデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、 前記液滴吐出ヘッドの各ノズルから機能液滴を吐出させる検査用吐出工程と、 前記検査用吐出工程による飛翔中の機能液滴を、ストロボにより照射して撮像する撮像工程と、 前記撮像工程の撮像結果を画像認識して、前記各ノズルの吐出が正常に行われているか否かを判定する判定工程と、 を備えたことを特徴とする有機ELデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。

IPC (5)：

H05B33/10 ,  B05C11/00 ,  B05D3/00 ,  B41J2/01 ,  H05B33/14

FI (5)：

H05B33/10 ,  B05C11/00 ,  B05D3/00 D ,  H05B33/14 A ,  B41J3/04 101Z

F-Term (24)：

2C056EA14 ,  2C056EB08 ,  2C056EB40 ,  2C056FA15 ,  2C056FB01 ,  2C056FB08 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4D075AC07 ,  4D075AC09 ,  4D075AC91 ,  4D075AC93 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB53 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042AB00 ,  4F042DH09