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J-GLOBAL ID：200903073397195719

振動モノリシック・ジャイロスコープ

Inventor： ウィリアム・シー・ダン ,  レイモンド・エム・ループ
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 本城 雅則 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992231484
Publication number (International publication number)：1993248876
Application date： Aug. 07, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 中央取付けポストと、振動運動用に左右対称に固定された平面質量とを含む振動ジャイロスコープを提供する。【構成】 このポストおよび質量は、シリコンなどの基板上に被着された半導体材料の一つの層から形成される。半導体材料の2つの層を被着することによって形成された、質量の下および上に配置されたコンデンサ・プレートは、質量を駆動し、かつ、コリオリ効果によって発生される振動を検出するために利用される。

Claim (excerpt)：

振動モノリシック・ジャイロスコープ(10)であって:基盤(12)に固定され、第1軸(Z)を定める取付けポスト(15);振動運動用に前記ポスト(15)に固定され、かつ、前記ポスト(15)に直交する面に配置された質量(20)であって、互いに直交し、かつ前記第1軸(Z)に直交する第2軸(X)および第3軸(Y)を定める質量(20);前記質量に隣接して取付けられ、前記質量(20)を前記第2軸(X)を中心にして振動運動で移動させる駆動装置(25);および前記質量に隣接して取付けられ、前記第1軸(Z)を中心とする前記ジャイロスコープ(10)の移動に応答して前記第3軸(Y)を中心とする移動を検出する検出装置(25);によって構成されることを特徴とする振動モノリシック・ジャイロスコープ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04