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J-GLOBAL ID：200903073400854877

電子顕微鏡観察用試料の作成方法

Inventor： 中野 明彦 ,  土井 伸之 ,  嶋田 卓治 ,  渡部 功 ,  鶴原 健次
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 大西 孝治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992019447
Publication number (International publication number)：1993180739
Application date： Jan. 07, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 特定観察場所の位置合わせ精度をプラスマイナス0.1 μm 程度にまで向上できる電子顕微鏡観察用試料の作成方法を提供する。【構成】 高倍率の光学顕微鏡を装着した高速回転外周刃加工装置の刃2 により光学顕微鏡で観察しながら電子顕微鏡に装着可能な幅に材料を切断して試料11を切り出す工程と、特定の観察場所に刻印を施す工程と、前記刻印を残して前記切断した試料11を断面凸の字状に加工する工程と、収束荷電粒子ビーム3 によるエッチングにより前記凸の字状の上面をさらに凸の字状に薄片化する工程とを含むことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料の作成方法。

Claim (excerpt)：

電子顕微鏡観察を必要とする材料に対して、高倍率の光学顕微鏡を装着した高速回転外周刃加工装置を用いて前記光学顕微鏡で観察しながら電子顕微鏡に装着可能な幅に前記材料を切断する工程と、特定の観察場所に刻印を施す工程と、前記刻印を残して前記切断した材料を断面凸の字状あるいはLの字状に加工する工程と、収束荷電粒子ビームによるエッチングにより前記凸の字状あるいはLの字状の上面をさらに凸の字状あるいはLの字状に薄片化する工程とを含むことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料の作成方法。

IPC (5)：

G01N 1/28 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68