感光性樹脂組成物およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：諸田英二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999035917
Publication number (International publication number)：2000230049
Application date： Feb. 15, 1999
Publication date： Aug. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】アルカリ水溶液にて現像が可能なポジ型パターン形成能を有するポリイミド前駆体からなる感光性樹脂組成物とその製造方法を提供する。【解決手段】 (A)次式で示されるポリイミド前躯体、(但し、式中、R1 は、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物残基などの4価の有機基、R2 は、ジアミノジフェニルエーテル残基などの2価の有機基である)(B)上記ポリイミド前躯体を合成するにあたり用いるジフェニル(2,3-ジヒドロ-2-チオキソ-3-ベンゾオキサゾール)ホスホナートなどの脱水縮合剤、(C)活性光線に対する感度を向上させるジアゾナフトキノン化合物などの感光剤および(D)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物である。

Claim (excerpt)：

(A)次の一般式で示されるポリイミド前躯体、【化1】(但し、式中、R1 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -若しくは-CH2-で結合された4価の有機基であり、R2 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された2価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -若しくは-CH2 -で結合された2価の有機基であり、m,nはいずれも1以上の整数である)(B)上記の(A)ポリイミド前躯体を合成するにあたり用いる脱水縮合剤、(C)活性光線に対する感度を向上させる感光剤および(D)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

C08G 73/10 , C08K 5/41 , G03F 7/037 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (5)：

C08G 73/10 , C08K 5/41 , G03F 7/037 501 , H01L 21/312 B , H01L 21/30 502 R

F-Term (84)：

2H025AA02 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CC03 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM041 , 4J002ED028 , 4J002EE058 , 4J002EH038 , 4J002EP018 , 4J002EU028 , 4J002EV217 , 4J002EW126 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002FD208 , 4J043PA02 , 4J043PA19 , 4J043PC015 , 4J043PC065 , 4J043PC115 , 4J043QB15 , 4J043QB25 , 4J043RA06 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043TA12 , 4J043TA32 , 4J043TB01 , 4J043UA022 , 4J043UA032 , 4J043UA042 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA141 , 4J043UA142 , 4J043UA151 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA361 , 4J043UA762 , 4J043UB011 , 4J043UB021 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB141 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB211 , 4J043UB221 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB311 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA021 , 4J043VA041 , 4J043VA061 , 4J043VA081 , 4J043XA16 , 4J043XA19 , 4J043ZB60 , 5F058AA05 , 5F058AC02 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH01 , 5F058AH03

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