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J-GLOBAL ID：200903073435300351

AFMカンチレバー

Inventor： 高山 美知雄
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995084478
Publication number (International publication number)：1996262040
Application date： Mar. 17, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 四面体状のシリコン探針部をもつAFMカンチレバーにおいて、片持ち梁と探針部とのなす最低角度を任意に設定することを可能にする。【構成】 シリコン又は低応力化した窒化シリコンからなる片持ち梁102 と、シリコン又はガラス等からなる片持ち梁支持部103 と、片持ち梁102 の自由端に支持部103 とは反対側に設けた四面体状探針部101 とからなるAFMカンチレバー100 において、前記探針部101 を単結晶シリコンで構成し、且つ片持ち梁102 と接する底面は(100)面から任意角度傾けて切り出された結晶面で形成し、他の側面のうち1つを(111)面で形成する。

Claim (excerpt)：

片持ち梁と、片持ち梁支持部と、前記片持ち梁の自由端であって、該片持ち梁に対して前記支持部と反対側である裏面に設けた四面体状探針部とからなるAFMカンチレバーにおいて、前記四面体状探針部は単結晶シリコンからなり、前記片持ち梁と接する四面体状探針底面は(100)面から任意角度傾けて切り出された結晶面であり、他の側面のうち一つは(111)面であることを特徴とするAFMカンチレバー。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z