配管用CT撮影装置並びにシリコン酸化物堆積監視方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高田幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998000702
Publication number (International publication number)：1999194101
Application date： Jan. 06, 1998
Publication date： Jul. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】配管用CT装置を小形化すると共に、モノシランガスが流れる配管の内部におけるシリコン酸化物の堆積を確実に把握することのできる方法および装置を提供する。【解決手段】配管の周りにX線発生器およびX線検出器を配設し、配管外面に沿ってこれらを回転せしめてシリコン酸化物堆積状態をCT断層撮像するようにして配管閉塞を監視するようにした方法および装置。

Claim (excerpt)：

配管の周りに配設されたX線発生器およびX線検出器を配管周りに一体的に回転させる回転装置を設けて、配管内の堆積物の堆積状態をCT撮影する配管用CT撮影装置において、前記回転装置は、少なくともその一方端が半円より突出した円弧状に形成され、全体として半円状をなすガイドレールと、この上を案内されて前記X線発生器およびX線検出器の回転を行う回転駆動装置とを備えたことを特徴とする配管用CT撮影装置。

IPC (2)：

G01N 23/10 , G01N 23/04

FI (2)：

G01N 23/10 , G01N 23/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平1-270649
特開平3-205539
高所配管の撮影用治具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-084168 Applicant：出光エンジニアリング株式会社, 日本シーレーク株式会社

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