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J-GLOBAL ID：200903073453376063

酸分解性化合物及びそれを含有するポジ型感放射線性レジスト組成物

Inventor： 梅田 真一 ,  小柳 敬夫 ,  北折 智之 ,  福永 誠規 ,  長澤 孝太郎
Applicant, Patent owner： 日本化薬株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992031259
Publication number (International publication number)：1993249681
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【構成】式(1)【化1】(式中Rは水素あるいはメチル基を示す。)で示される酸分解性化合物、アルカリ可溶性樹脂及び放射線に感応し酸を発生する化合物を含有するポジ型感放射線性レジスト組成物。【効果】本発明の化合物は酸により分解する性質を示し、これを含有するポジ型感放射線性レジスト組成物は放射線に対する感度が高く、基板に転写されたパターンは膨潤がなく解像度が極めて優れ、さらにドライエッチング耐性及び耐熱性に極めて優れているので半導体集積回路の製造に有用である。

Claim (excerpt)：

式(1)【化1】(式(1)中Rは水素あるいはメチル基を示す。)で示される化合物

IPC (8)：

G03F 7/039 501 ,  C08K 5/10 KAS ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027 ,  C07C 69/96