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J-GLOBAL ID:200903073475840928

走査型光学測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 篠原 泰司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994198356
Publication number (International publication number):1996062123
Application date: Aug. 23, 1994
Publication date: Mar. 08, 1996
Summary:
【要約】【目的】 異種の蛍光チャンネル間のクロストークのない多波長励起多波長検出光学系を備えた走査型レーザ顕微鏡及び/又は走査型サイトメータ等の走査型光学測定装置を提供すること。【構成】 本発明の装置は、クリプトンレーザ光源31,アルゴンレーザ光源39とこれらに対応する赤色蛍光検出器38,緑色蛍光検出器40と、ダイクロイックミラー32’,32”と、ガルバノメータミラー33と、瞳投影レンズ34と、対物レンズ36とを有し、クリプトンレーザ光源31,ダイクロイックミラー32’及び赤色蛍光検出器38に付随する光路と、アルゴンレーザ光源39,ダイクロイックミラー32”及び緑色蛍光検出器40に付随する光路とが、ガルバノメータミラー33上においてオフセット角度を有して交差するように構成されている。
Claim (excerpt):
光ビームを標本上で二次元走査し、該光ビーム光源へ戻る照明光路から光分割手段を用いて前記標本からの反射光(後方散乱光を含む)及び/又は蛍光を分離して検出する検出光路を有する走査型光学測定装置において、複数の光ビーム光源と夫々の光ビーム光源へ戻る各照明光路から光分割手段を用いて前記標本からの反射光(後方散乱光を含む)及び/又は蛍光を分離して検出する光検出器を夫々の光ビーム光源へ戻る各照明光路毎に設け、夫々の光ビーム光源による前記標本からの反射光(後方散乱光りを含む)及び/又は蛍光が互いに異なる照明光路の検出器へ戻らないように、夫々の光ビーム光源照明光路を、これに付随する検出光路と共に光学的偏向手段上でオフセット角度を与え、偏芯せしめるようにしたことを特徴とする走査型光学測定装置。
IPC (3):
G01N 21/27 ,  G01N 21/64 ,  G02B 21/00

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