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J-GLOBAL ID：200903073488879718

光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法

Inventor： 川崎 大 ,  鍛治 誠 ,  児嶋 充雅 ,  布村 昌隆 ,  鈴木 宏 ,  佐藤 任廷
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994182239
Publication number (International publication number)：1995278214
Application date： Aug. 03, 1994
Publication date： Oct. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】 優れた感光特性を示す感光性組成物および感光材料を提出する光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法を提供する。【構成】 下記一般式(I)で示される3-置換クマリン化合物【化1】(式中、R1、R2、R3、R4およびR5は、水素原子、1個の炭素数1から5のアルキル基で置換されたアミノ基等、R6はフェニル基等)、下記の式(II)で示されるチタノセン化合物【化2】(式中、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15およびR16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルコキシ基または複素環)および下記の式(III)で示されるオキシムエステル化合物【化3】(式中、R17およびR18は、水素原子等、R19は、炭素数1〜12のアルキル基等)を含有してなる光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料およびこの感光材料を用いたパターンの製造法。

Claim (excerpt)：

下記の式(I)で示される3-置換クマリン化合物【化1】(式中、R1、R2、R3、R4およびR5は、水素原子、1個の炭素数1から5のアルキル基で置換されたアミノ基、2個の炭素数1から5のアルキル基で置換されたアミノ基、炭素数1から5のアルコキシ基、アシルオキシ基、アリール基、ハロゲン原子または炭素数1から5のチオアルキル基であり、R6はフェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリル基、ピリジン基、クマリニル基、アミノ基、炭素数1から5のアルキル基で置換されたアミノ基、シアノ基、炭素数1から5のアルコキシ基、炭素数1から5のアルキル基、ハロゲン原子、ハロアルキル基、ホルミル基、炭素数1から5のアルコキシカルボニル基または炭素数1から5のアシルオキシ基であり、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリル基、ピリジン基およびクマリニル基は炭素数1から5のアシル基で置換されてもよい)、下記の式(II)で示されるチタノセン化合物【化2】(式中、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15およびR16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルコキシ基または複素環である)および下記の式(III)で示されるオキシムエステル化合物【化3】(式中、R17およびR18は、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基またはニトロ基であり、R19は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、フェニル基、ベンジル基、-OCH2CH2OCH3または-CO2CH2CH3である)を含有してなる光開始剤。

IPC (6)：

C08F 2/50 MDN ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/031