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J-GLOBAL ID：200903073523305495

ダイヤモンド素子

Inventor： 勝又 聡 ,  明田川 正敏
Applicant, Patent owner： 出光石油化学株式会社
Agent (1)： 渡辺 喜平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992262886
Publication number (International publication number)：1994087682
Application date： Sep. 04, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：

【要約】【目的】 接合金属層の酸化を防止でき、特性が安定なダイヤモンド素子を得る。【構成】 基板1上のダイヤモンド層2に、イットリウム,スカンジウム,ランタン,マグネシウム,ハフニウムのいずれか、又はこれらの合金からなる仕事関数が3eVから4eV程度の金属層3をショツトキー接合した。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド層と、仕事関数が3eVから4eV程度の金属層を接合して構成したことを特徴とするダイヤモンド素子。

IPC (3)：

C04B 41/88 ,  C23C 14/18 ,  H01L 21/20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-067527
  
• 特開平3-101091
  
• 特開平4-233194