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J-GLOBAL ID：200903073533561368

透明基板、透明基板の作製方法、及び基板作製装置

Inventor：
名田 直司

About 名田 直司

, 
沖田 裕之

About 沖田 裕之

, 
小林 正人

About 小林 正人


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 大澤 斌 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001031843
Publication number (International publication number)：2002234103
Application date： Feb. 08, 2001
Publication date： Aug. 20, 2002
Summary：
【要約】【課題】 酸素及び水分に対するバリア性が高く、しかも軽量で経済的な透明基板を提供する。【解決手段】 本透明基板100は、無機膜として反応スパッタリング法により成膜した膜厚60nmの3層の窒化シリコン膜104、108、及び112と、有機膜として抵抗加熱式真空蒸着法により成膜され、窒化シリコン膜の間に介在する膜厚100nmの2層のシクロオレフィンポリマー膜106、及び110との積層膜をバリア層114として厚さ0.7mmのポリカーボネート板からなる基板本体102上に備えている。
Claim (excerpt)：
透明プラスチックフィルム又は透明プラスチック板からなる基板本体と、基板本体の基板面の少なくとも一方の面に設けられ、酸素及び水分の少なくとも一方に対するバリア性を有し、かつ可視領域の光に対して透明な無機膜と有機膜とを交互に少なくとも1層ずつ接着剤層を介在させることなく非塗布式成膜法により積層した無機膜/有機膜の積層膜からなるバリア層とを備えることを特徴とする透明基板。
IPC (5)：
B32B 9/00 ,  B32B 7/02 103 ,  C23C 14/06 ,  G02B 1/10 ,  G02F 1/1333 500
FI (5)：
B32B 9/00 A ,  B32B 7/02 103 ,  C23C 14/06 Q ,  G02F 1/1333 500 ,  G02B 1/10 Z
F-Term (60)：
2H090HB03X ,  2H090HB07X ,  2H090JB02 ,  2H090JD11 ,  2H090JD12 ,  2K009BB11 ,  2K009BB24 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC21 ,  2K009CC22 ,  2K009CC26 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  2K009DD09 ,  2K009EE00 ,  4F100AA01B ,  4F100AA21 ,  4F100AD05 ,  4F100AK01A ,  4F100AK01C ,  4F100AK02 ,  4F100AT00A ,  4F100AT00C ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA08 ,  4F100BA08B ,  4F100BA08C ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100EH66B ,  4F100EH66C ,  4F100GB41 ,  4F100JD03 ,  4F100JD03B ,  4F100JD03C ,  4F100JD04 ,  4F100JD04B ,  4F100JD04C ,  4F100JN01A ,  4F100JN01B ,  4F100JN01C ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029AA25 ,  4K029BA58 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA06 ,  4K029DB06 ,  4K029DB10 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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