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J-GLOBAL ID：200903073538265511

積層圧電素子およびその製造方法

Inventor： 渡部 嘉幸 ,  栗原 光一郎 ,  染次 孝博 ,  定村 茂
Applicant, Patent owner： 日立金属株式会社
Agent (1)： 大場 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992254396
Publication number (International publication number)：1994112546
Application date： Sep. 24, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 積層体側面に付着する水分による電気絶縁性の劣化を防ぎ、高信頼性素子の供給を行う。【構成】 シート状の圧電セラミックス部材と内部電極導体とが交互に積層された積層焼結体を含み、前記積層焼結体の対向あるいは直交する一対の側面に内部電極導体が露出し、他の対向する一対の側面に露出する内部電極導体の一方の端部が前記側面において一層おきに絶縁され、絶縁されていない前記内部電極導体の端部は前記側面毎に設けられた外部電極にそれぞれ接続されている積層圧電素子において、外部電極が設けられていない少なくとも一つの面にメッキにより一層おきに金属を析出させ、その面に、ほぼ均一な厚さに無機質の絶縁層を塗布したのち、一様に研磨し、メッキ部の一部を表面に露出させ、析出金属を溶解させ取り除くことにより無機質の絶縁層を一層おき分離させる。

Claim (excerpt)：

シート状の圧電セラミックス部材と内部電極導体とが交互に積層された積層焼結体を含み、前記積層焼結体の対向あるいは直交する一対の側面に内部電極導体が露出し、他の対向する一対の側面に露出する内部電極導体の一方の端部が前記側面において一層おきに絶縁され、絶縁されていない前記内部電極導体の端部は前記側面毎に設けられた外部電極にそれぞれ接続されている積層圧電素子において、前記積層圧電素子の外部電極が設けられていない少なくとも一つの面に次の工程を有することを特徴とする積層圧電素子;(a)一方の外部電極を陰極として、メッキにより該積層体の外部電極が設けられていない面の内部電極露出部に一層おきに金属を析出させる工程、(b)該メッキを行った面において、メッキ部及び非メッキ部に、ほぼ均一な厚さに無機質の絶縁層を塗布し、焼成する工程、(c)該絶縁層を形成した面を一様に研磨し、メッキ部の一部を表面に露出させる工程、(d)該露出した部分から析出金属を溶解させ取り除くことにより無機質の絶縁層を一層おき分離させる工程。

IPC (2)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/24

FI (2)：

H01L 41/08 Q ,  H01L 41/22 Z