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J-GLOBAL ID：200903073555222338

走査ユニット

Inventor： 三澤 健一
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993075854
Publication number (International publication number)：1994289305
Application date： Apr. 01, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】簡単な構成で高精度且つ高速に走査中心位置の移動制御が可能な走査ユニットを提供する。【構成】光源11から出射されたレーザービームを所定方向に所定量だけ偏向可能なミラー13と、このミラーを支持する共振型ガルバノスキャナ15とを備えており、共振型ガルバノスキャナは、アダプタ17を介して超音波モータ19に接続されている。共振型ガルバノスキャナに接続された駆動回路25から出力された駆動信号に基づいて、共振型ガルバノスキャナ15は、ミラー13を所定方向に所定角度で振動させる。超音波モータに接続された移動制御回路27から出力された移動信号に基づいて、超音波モータは、シャフト21を介して共振型ガルバノスキャナを所定方向に所定角度だけ回動させる。超音波モータには、その回動方向及び回動量を検出可能なエンコーダ23が接続されている。

Claim (excerpt)：

レーザー光を所定方向に所定量、偏向可能に構成された光偏向素子と、この光偏向素子によって偏向されたレーザー光の偏向中心を所定方向に所定量、移動可能に構成された偏向中心可変機構と、この偏向中心可変機構の駆動状態を検出して、前記偏向中心の移動量を制御可能に構成された検出制御機構とを備えていることを特徴とする走査ユニット。

IPC (3)：

G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-025721
  
• 特開昭63-261318
  
• 特開平3-065920