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J-GLOBAL ID：200903073556606423

露光方法と露光装置

Inventor： 渡辺 和也 ,  有賀 隆 ,  堀井 寛飛 ,  鈴木 資和 ,  林 忠博
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993337539
Publication number (International publication number)：1995201702
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 長期間使用しても性能の劣化が少ない露光方法および露光装置を提供することである。【構成】 光源から発した光をレンズを含む光路上を通過させ、レチクルを通して、露光対象物上に露光する露光方法であって、光路上に存在するレンズの少なくとも1つの面を非酸化性雰囲気に接触させつつ露光を行う。

Claim (excerpt)：

光源から発した光をレンズを含む光路上を通過させ、レチクルを通して、露光対象物上に露光する露光方法であって、光路上に存在するレンズの少なくとも1つの面を非酸化性雰囲気に接触させつつ露光を行う露光方法。露光方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 F