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J-GLOBAL ID：200903073595827631

光学部品及びその加工方法

Inventor：
谷口 仁啓

About 谷口 仁啓


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (1)： 小池 隆彌
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998333465
Publication number (International publication number)：2000162418
Application date： Nov. 25, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：
【要約】【課題】 反応性イオンエッチングやイオンミリングによる加工より、精度の高く、高性能なブレーズ型ホログラム素子を作製する。【解決手段】 光透過性基板12は、ガラスなどの光透過性無機材料に高分子材料をコーティングしたものであって、前記光透過性基板12に、三角形もしくは扇形のエキシマレーザビーム11を照射しながら、前記光透過性基板12と前記レーザビームと11を相対的に移動させ、この動作を繰り返すことによって、ブレーズ型断面を有する複数本の微細溝を形成することができ、ブレーズ型ホログラム素子が作製できる。
Claim (excerpt)：
光透過性基板に略三角形の断面形状を有する光学部品の加工方法において、該光透過性基板に、三角形ないしは扇形のレーザビームを照射し、該レーザビームと該光透過性基板を相対的に移動させることを特徴とする光学部品の加工方法。
IPC (4)：
G02B 5/18 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G02B 5/32
FI (5)：
G02B 5/18 ,  B23K 26/00 D ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/06 E ,  G02B 5/32
F-Term (12)：
2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA59 ,  2H049AA63 ,  2H049CA05 ,  2H049CA23 ,  2H049CA28 ,  4E068AD01 ,  4E068CA01 ,  4E068CA13 ,  4E068CD05 ,  4E068CE01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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