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J-GLOBAL ID：200903073596489195
蛍光X線膜厚計
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993021234
Publication number (International publication number)：1994235628
Application date： Feb. 09, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：
【要約】【目的】 未知試料でも検量線を選択しなくてもそのまま膜厚または濃度測定ができるようにする。【構成】 X線発生器から出射された一次X線をコリメータによって目的のビームサイズに絞り、測定試料に照射し、試料から発生する蛍光X線をX線検出器で計数し、そのX線スペクトルから構成元素を自動同定し、すでにメモリーに登録されている検量線情報と照らし合わせて、適切な検量線を自動選択し、そのX線強度によって膜厚または濃度を演算する構成とする。【効果】 未知試料をセットして測定スタートを指示するだけで膜厚、濃度測定が可能となり、操作性がかなり向上する。
Claim (excerpt)：
あらかじめ膜成分と膜厚が知られている既知試料から求めた膜厚と蛍光X線強度の関係である検量線を複数記憶しておく記憶手段と、サンプルの蛍光X線スペクトルを微分処理する微分回路と、前記微分回路の出力からサンプルの成分を自動同定する自動同定手段と、記憶されている検量線で利用されている元素情報および蛍光X線強度情報と照らし合わせて、最もそれに近い検量線を採用して膜厚測定する蛍光X線膜厚計。
IPC (2)：
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