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J-GLOBAL ID：200903073634921012

オフアクシス反射屈折型投影光学系

Inventor： ウイジュナンド ピー. シェーンメイカーズ
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 岡部 正夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993336469
Publication number (International publication number)：1995005365
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】本光学系は、第1レンズ群20と、第1ダブルパス成分群30と、第1凹面ミラー40と、第2レンズ群50と、第2ダブルパス成分群60と、第2凹面ミラー70と、第3レンズ群80とを具備する。光は、第1凹面ミラーを通る前と後の夫々で、第1ダブルパス成分群を通る。同様に、光は、第2凹面ミラーを通る前と後の夫々で、第2ダブルパス成分群を通る。第1レンズ群20と第1ダブルパス成分群30と第1凹面ミラー40と第2レンズ群50とは、協働して中間像平面90に物体の中間縮小像を形成する。第2ダブルパス成分群60と第2凹面ミラー70と第3レンズ群80とは、像平面15に更に縮小された像を形成する。【効果】設計上の自由度が高まり、大きな開口数と大きな視野が得られる。

Claim (excerpt)：

物体の縮小像を作る反射屈折型の縮小投影光学系において、第1のレンズ群と、第1のダブルパス成分群と、第1の凹面ミラーと、第2のレンズ群と、第2のダブルパス成分群と、第2の凹面ミラーと、第3のレンズ群と、を前記物体側からの光路順に具備し、前記第1ダブルパス成分群は、前記第1凹面ミラーに入射した後の光が自身に再度入射するように配置され、前記第1レンズ群と前記第1ダブルパス成分群と前記第1凹面ミラーと前記第2レンズ群とは、縮小された大きさの中間像を中間像平面に形成し、前記第2ダブルパス成分群は、前記第2凹面ミラーに入射した後の光が自身に再度入射するように配置され、前記第2ダブルパス成分群と前記第2凹面ミラーと前記第3レンズ群とは、更に縮小された大きさの像を像平面に形成することを特徴とする光学系。