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J-GLOBAL ID：200903073650156890
液体気化供給方法と液体気化供給器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992082860
Publication number (International publication number)：1994291040
Application date： Mar. 03, 1992
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明の目的は、小容量から大容量までの広い範囲で適用が可能であり、しかも液体原料の完全気化が可能であって極めて高い精度で原料ガスの質量流量供給が継続して行えるようにする事により、次世代半導体の製造にも十分対応できる液体気化供給方法及び液体気化供給器の提供にある。【構成】 質量流量制御された原料液体(L)を、高速で噴射されているキャリアガス(C)に接触させて霧化ノズル(3)にて霧化原料ミストとし、然る後、前記霧化原料ミストを蒸発させてキャリアガスと共に次工程に搬出する事を特徴とする。
Claim (excerpt)：
質量流量制御された原料液体を、高速で噴射されているキャリアガスに接触させて霧化して霧化原料ミストとし、然る後、前記霧化原料ミストを蒸発させてキャリアガスと共に次工程に搬出する事を特徴とする液体気化供給方法。
Patent cited by the Patent：
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