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J-GLOBAL ID：200903073665512218

欠陥分類方法

Inventor：
荒井 敏

About 荒井 敏


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000374577
Publication number (International publication number)：2002174603
Application date： Dec. 08, 2000
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：
【要約】【課題】欠陥分類の判定精度を向上すること。【解決手段】学習時に、予めクラス分類された教師サンプルを用いて特徴ベクトルの算出(ステップS11〜S14)、基底変換行列の決定(ステップS15〜S17)、教師サンプルの基底変換(ステップS18)、の順に処理を行い、基底変換行列及び基底変換後の教師サンプルを学習データとして記憶する。分類判定時には、検査サンプルの特徴ベクトルを算出した後(ステップS21〜S24)、学習時に得た基底変換行列でこれを基底変換し(ステップS25)、次元数を圧縮した状態で教師サンプルの各クラスとの類似度を比較する(ステップS26)。
Claim (excerpt)：
予めクラス分類された教師サンプルより得られたM次元特徴ベクトルについて、クラス内共分散行列及びクラス間共分散行列を計算する工程と、上記クラス内共分散行列及びクラス間共分散行列を、計算を用いてクラス間分離度判定基準に変換する工程と、上記クラス間分離度判定基準に基づいた特徴ベクトルの基底変換工程と、を備えることを特徴とする欠陥分類方法。
IPC (5)：
G01N 21/956 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 250 ,  G06T 9/20 ,  H05K 3/00
FI (5)：
G01N 21/956 B ,  G01N 21/88 J ,  G06T 7/00 250 ,  G06T 9/20 ,  H05K 3/00 Q
F-Term (42)：
2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051ED11 ,  2G051ED21 ,  2G051ED30 ,  2G051FA10 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CD14 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB08 ,  5B057DC04 ,  5B057DC08 ,  5B057DC09 ,  5B057DC17 ,  5B057DC33 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA03 ,  5L096CA14 ,  5L096EA43 ,  5L096FA06 ,  5L096HA09 ,  5L096JA03 ,  5L096JA05 ,  5L096JA11 ,  5L096JA22 ,  5L096KA04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 画像処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-260465   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 多値信号識別装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-118815   Applicant：三菱重工業株式会社
  • ウェハーテストの不良パターン自動識別装置と方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-367433   Applicant：台湾茂せき電子股ふん有限公司, 茂徳科技股ふん有限公司, シーメンスアクチエンゲゼルシャフト
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