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J-GLOBAL ID：200903073726791654

修正研磨加工方法

Inventor： 幸田 盛堂 ,  石田 佳彦 ,  武部 隆
Applicant, Patent owner： 大阪機工株式会社
Agent (1)： 江原 省吾 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993219418
Publication number (International publication number)：1995068456
Application date： Sep. 03, 1993
Publication date： Mar. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 軸対称でない高精度の精密金型や非球面レンズ等の研磨加工を自動化・高精度化し得る修正研磨加工方法を提供すること。【構成】 制御装置(3)で制御されるNC工作機械の主軸頭(4)に自己倣い研磨装置(1)と自動計測装置(2)を設置し、加工物の表面の計測及び修正研磨加工を行い、計測時、機械の移動誤差補正及び熱ドリフト補正を行うと共に計測結果から1パス当りの実研磨量を監視し、これから次回の研磨量を推定し、かつ、次回の研磨回数を設定し、同時に、研磨量のバラツキによるオーバシュートを防止するため、修正係数を導入した。

Claim (excerpt)：

数値制御及び倣い制御装置により動作制御される自己倣い研磨装置に自動計測装置を設置し、主軸回転数、送り速度、研磨圧、ピック量、研磨工具、砥粒の種類、1パス当りの研磨量、目標形状を予め制御装置内に格納し、工作物の表面の研磨領域を格子状に分割し、各格子点に対応する機械の移動誤差(平面度)を予め測定して機械誤差マップを作りこれを制御装置内に記憶させておき、加工に先立って各格子点を自動計測装置で計測し、当該格子点毎の目標形状に対する偏差を求め、この偏差を予め格納してある機械誤差マップ上の当該格子点に対応する機械の移動誤差で補正させ、かつ、計測の都度、任意の位置の計測値の差から熱ドリフト補正を行なわせ、これに修正係数を積算して次回の研磨量とし、この研磨量を1パス当りの研磨量で除算して研磨回数(繰り返しパス回数)を求め、この研磨回数に基いて当該各格子点を含む領域の修正研磨加工を行い、この加工終了後、再度計測して目標形状に対する偏差を求め、この偏差を機械の移動誤差補正及び熱ドリフト補正を行なわせ、これと共に計測結果から1パス当りの実研磨量を監視し、この実研磨量から次回の研磨量を推定すると共に研磨回数を前記と同様に求めて加工を行なわせ、これを上記偏差が予め設定した許容値以下になるまで反復することを特徴とする修正研磨加工方法。

IPC (3)：

B24B 13/00 ,  B24B 1/00 ,  B24B 49/00