Pat
J-GLOBAL ID：200903073734288155
二次イオン質量分析装置用試料ホルダ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996076099
Publication number (International publication number)：1997265932
Application date： Mar. 29, 1996
Publication date： Oct. 07, 1997
Summary：
【要約】【課題】二次イオン質量分析(SIMS)装置に使用される、同時に複数個の試料を装填可能な試料ホルダにおいて、試料表面間の傾きを押さえて測定表面の平坦性を保持し、濃度定量性の精度を向上させる。【解決手段】測定試料を複数個同時に装填可能な二次イオン質量分析装置の試料ホルダにおいて、試料ホルダ表面に存在する測定窓付き薄板(表面薄板)の平面性を保つために、試料ホルダ台開孔部に、表面薄板12を固定可能な固定部を設け、表面薄板をこの薄板周辺部での固定と共にホルダ台の固定部に固定する。
Claim (excerpt)：
二次イオン質量分析装置に使用する、測定試料を複数個同時に装填可能な試料ホルダにおいて、試料ホルダ表面に存在する測定窓付き薄板(表面薄板)の平面性を保つための固定部を有することを特徴とする二次イオン質量分析装置用試料ホルダ。
IPC (6)：
H01J 37/20
, G01N 1/28
, G01N 23/225
, G01N 27/62
, H01J 37/317
, H01J 49/04
H01J 37/20 A
, G01N 23/225
, G01N 27/62 F
, H01J 37/317 B
, H01J 49/04
, G01N 1/28 W
