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J-GLOBAL ID：200903073740217782
脱離ガス分析装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994034971
Publication number (International publication number)：1995244059
Application date： Mar. 04, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：
【要約】【目的】 固体材料の結晶粒界、欠陥等の局所領域にトラップされているガス成分を分析する。【構成】真空容器2内に設けられた試料載置台に試料4を載置し、加熱手段7を有する走査トンネル顕微鏡の探針6を対向配置する。CRT16に表示された試料4の走査電子顕微鏡像を見て走査トンネル顕微鏡の観察視野を決定し、次に走査トンネル顕微鏡による像をCRT11で観察する。CRT11の像に基づいて試料上の分析場所に探針6を近付け、加熱手段7によって探針を加熱し、試料の局所領域のみを選択的に加熱する。この加熱によって試料の局所領域から脱離したガスを質量分析計19によって検出、分析する。
Claim (excerpt)：
真空容器と、前記真空容器内に設けられた試料載置台と、電子銃と、前記電子銃からの電子線を前記試料載置台上に置かれた試料上で2次元的に走査するための偏向手段と、電子線を試料面に集束するための電子レンズと、電子線の走査に伴う検出信号に基づいて試料像を表示するための手段と、導電性材料からなる探針と、前記探針を支持するための支持体と、前記探針と試料の間にトンネル電流を流すための電圧を印加する手段と、前記探針を試料に対して相対的に移動させるための手段と、前記探針と試料の間に流れるトンネル電流に基づいて試料表面の凹凸を表す像を表示する手段と、前記探針を加熱するための手段と、前記探針の加熱によって試料の局所領域から脱離するガスを検出するための手段とを含むことを特徴とする脱離ガス分析装置。
IPC (2)：
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