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J-GLOBAL ID：200903073757880418
洗浄方法及びその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991285295
Publication number (International publication number)：1993129266
Application date： Oct. 31, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：
【要約】【構成】本発明は、超音波が印加されラインノズル方式により噴射された洗浄水が、被洗浄物に射突する直線状位置が被洗浄物の搬送方向に対して直交する方向から所定量傾斜するようにしたようにしたものである。【効果】本発明は、洗浄液は、被洗浄物上にて、被洗浄物の搬送方向に平行な方向に流れるとともに、横方向にも流れる。したがって、この発明によれば、微細なパーティクルを、被洗浄物の表面に、例えばリソグラフィーなどによる電気回路パターンなどからなる無数の段差が存在していても、微細なパーティクルをこれら段差部分に滞留させることなく、確実かつ高能率に除去することができる。
Claim (excerpt)：
スリット状の開口部から洗浄液を被洗浄物に向って噴射する洗浄液噴射工程と、上記被洗浄物をその被洗浄面に平行な直線方向に相対的に搬送する工程と、この洗浄液噴射工程にて噴射された洗浄液に超音波を印加する超音波印加工程とを具備し、上記洗浄液の上記被洗浄物に射突する直線状位置を上記被洗浄物の搬送方向に対して直交する方向から傾斜させて上記洗浄液を噴射することを特徴とする洗浄方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/12
