Pat

J-GLOBAL ID：200903073764152452

電子写真感光体の膜厚測定装置および膜厚測定方法、電子写真感光体の製造装置および製造方法

Inventor： 本田 早苗 ,  伊藤 和哉 ,  鈴木 孝尚 ,  石河 勇
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 石井 康夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998002364
Publication number (International publication number)：1999201730
Application date： Jan. 08, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 電子写真感光体に形成した測定対象層の膜厚を精度よく測定できる電子写真感光体の測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】 測定対象層までが形成された電子写真感光体1に対し、検出エリア2に光源6からの光を光ファイバ5およびプローブ4を経由して照射し、検出エリア2からの反射光をプローブ4および光ファイバ5を経由して分光光度計7の分光器に結像させ、分光特性としてのスペクトルを得る。得られたスペクトルからピーク波長検出部9でピーク波長を検出する。そして膜厚演算部10で、予め検量線記憶部11に記憶されている検量線にピーク波長を代入し、測定対象層の膜厚を測定する。

Claim (excerpt)：

導電性基体上に複数の層を積層してなる電子写真感光体の膜厚測定装置において、少なくとも測定対象となる層が形成された電子写真感光体の表面に光を照射し反射光の分光特性を検出する分光特性検出手段と、該分光特性検出手段で検出した前記分光特性の波形から反射光がピークとなるピーク波長を検出するピーク波長検出手段と、該ピーク波長検出手段で検出した前記ピーク波長とあらかじめ求めた検量線から前記測定対象となる層の膜厚を得る演算手段を有することを特徴とする電子写真感光体の膜厚測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/06 ,  G03G 5/00 101

FI (2)：

G01B 11/06 Z ,  G03G 5/00 101