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J-GLOBAL ID：200903073784576682

フーリエ分光器

Inventor： 南光 智昭 ,  田名網 健雄 ,  御厨 健太
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994004116
Publication number (International publication number)：1995209085
Application date： Jan. 19, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 移動鏡の耐振性が高く、小電力であるフーリエ分光器を実現する。【構成】 光源の出力光を2つの光路に分け、それぞれの光路長を変化させることにより干渉を生じさせるフーリエ分光器において、光路長を変化させる移動鏡と、移動鏡の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段の出力に基づき移動鏡の位置を制御する駆動制御手段とを設ける。また、移動鏡を支持する板バネと、位置検出手段の出力に基づき移動鏡と板バネとで構成されるバネ系の固有振動数で駆動することにより移動鏡の位置を制御する駆動制御手段とを設ける。

Claim (excerpt)：

光源の出力光を2つの光路に分け、それぞれの光路長を変化させることにより干渉を生じさせるフーリエ分光器において、前記光路長を変化させる移動鏡と、前記移動鏡の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段の出力に基づき前記移動鏡の位置を制御する駆動制御手段とを備えたことを特徴とするフーリエ分光器。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-234318
  
• 特開昭60-022633