圧電デバイス

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998206440
Publication number (International publication number)：2000040935
Application date： Jul. 22, 1998
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】低価格化及び小型化に適した圧電デバイスを供給する。。【解決手段】圧電基板2と、該圧電基板2を収納する容器3とを備えており、前記圧電基板2の表面には励振電極と、パッド電極8と、前記励振電極とパッド電極8とを電気的に接続するリード電極とを設けており、また、前記容器3には前記パッド電極3と接続する為のランド電極10を設けており、前記パッド電極3と前記ランド電極10とを導電性バンプ9にて電気的及び機械的に接続する圧電デバイスに於いて、前記パッド電極が前記励振電極と一体形成された金属膜と、該金属膜の表面にNi6と、その表面に銀から成る金属膜7とを成幕した金属多層膜である構成を特徴とし、これにより実質的にパッド電極8の膜厚を厚く構成したものとなり、前記導電性バンプ形成時の衝撃により前記パッド電極8の剥離及び、前記圧電基板2の破損を防ぐことが可能となるに伴い歩留りの改善が実現し、圧電デバイスの低価格化が可能となる。

Claim (excerpt)：

圧電基板の表面に励振電極と、該励振電極とリード電極を介して接続したパッド電極とを備えると共に、該パッド電極と接続する為のランド電極を設けた容器に、導電性バンプにて電気的及び機械的に接続した圧電デバイスに於いて、前記パッド電極が金属多層膜から成ることを特徴とする圧電デバイス。

IPC (3)：

H03H 9/02 , H03H 9/10 , H03H 9/19

FI (3)：

H03H 9/02 F , H03H 9/10 , H03H 9/19 A

F-Term (10)：

5J033BB02 , 5J033EE03 , 5J033EE04 , 5J033EE07 , 5J033FF01 , 5J033FF11 , 5J033FF12 , 5J033FF13 , 5J033GG03 , 5J033GG16

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