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J-GLOBAL ID：200903073818652987

静電レンズおよびその製造方法

Inventor： 永 井 隆 光 ,  山 崎 裕一郎 ,  三 好 元 介
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992337408
Publication number (International publication number)：1994187901
Application date： Dec. 17, 1992
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 筒体の中心軸上に滑らかな電位分布を生じさせることができ、またレンズ径および全体形状の小型化を図ること。【構成】 絶縁性筒体11の内面の所定位置に金属膜13が被覆され、金属膜13以外の分布に高抵抗膜12が被覆されている。金属膜13には外部電源19から負電位が印加され、高抵抗膜12は接地されている。

Claim (excerpt)：

絶縁性筒体の内面の所定位置に外部電源により電圧が印加される金属膜を被覆し、前記筒体内面の金属膜以外の部分に、接地された高抵抗膜を被覆したことを特徴とする静電レンズ。

IPC (3)：

H01J 1/46 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭60-236443
  
• 特開昭60-189851
  
• 特開昭63-110542