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J-GLOBAL ID：200903073869364897

三次元形状測定装置

Inventor： 小松 朗
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994066200
Publication number (International publication number)：1995280535
Application date： Apr. 04, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 物体の三次元形状を非接触で精密に計測する装置を提供する。【構成】 光源101の光束を、偏光分離素子102を用いて偏光方向によって2つに分け、波面に傾きを与えた後重ね合わせて、測定物体105の上に干渉縞106を形成し、これを斜めから観測して、干渉縞の変形を測定する。そして、偏光の位相差量を位相変調素子を用いて変化させ、複数の画像データーから干渉縞の位相量を計算し、精密測定を行う。さらに、光源光としてコヒーレンスの低いものを使用し、スペックルノイズを抑え、画像検出装置108の受光波長範囲や受光時間を制限することにより、周囲の光による影響を低減する。

Claim (excerpt)：

三次元形状を有する被測定物に所定のパターンを投影し、前記被測定物の形状を計測する三次元形状測定装置において、前記被測定物に対し可干渉光を放射する光源装置と、前記光源手段から放射される光束を、振動方向が直交する2つの直線偏光に分離し、前記2つの直線偏光のうち少なくとも一方の波面に傾きを与える偏光分離素子と、重なり合った光束に干渉縞を生じさせる検光子とから構成される偏光干渉装置と、前記被測定物に投影された干渉縞を観測する観測装置と、前記観測装置によって観測された縞の形状から、被測定物の三次元形状を計算する解析手段とを備えることを特徴とする三次元形状測定装置。