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J-GLOBAL ID：200903073900274095

画像測定装置

Inventor：
新井 洋一

About 新井 洋一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995258037
Publication number (International publication number)：1997101115
Application date： Oct. 04, 1995
Publication date： Apr. 15, 1997
Summary：
【要約】【課題】 同一パターンを左右、及び/又は前後にずれた同配列に有する被検物の測定を、短時間に行なう。【解決手段】 XYステージを有する画像測定装置に、ステージの移動平面に垂直な光軸を有する2つの画像測定ヘッドと、該2つの画像測定ヘッドの相対的位置、個々の画像測定ヘッドで求めた測定結果、及びステージの移動量に基づいて、被検物の寸法形状を決定する演算装置(実施の形態で言うホストコンピュータ)とを具備した。
Claim (excerpt)：
XYステージを有する画像測定装置に於いて、ステージの移動平面に垂直な光軸をそれぞれ有する2つの画像測定ヘッドと、該2つの画像測定ヘッドの相対的位置、個々の画像測定ヘッドで求めた測定結果、及びステージの移動量に基づいて、被検物の寸法形状を決定する演算装置とを有することを特徴とする画像測定装置
IPC (3)：
G01B 11/02 ,  G01B 11/24 ,  G12B 5/00
FI (3)：
G01B 11/02 H ,  G01B 11/24 F ,  G12B 5/00 T
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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