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J-GLOBAL ID：200903073905317256
表面三次元形状の測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995327595
Publication number (International publication number)：1997166421
Application date： Dec. 15, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：
【要約】【課題】透明板状体の光学歪を、人間が視覚する歪に見合ったものとして評価する方法を得る。【解決手段】視対象物上の実点から発せられた光線群の瞳に入射する方向から、透明板状体を介して視対象物を観察した場合の虚像点群を決め、この虚像点群によって視対象物の虚像の三次元形状を形成し(14)、得られた虚像の三次元形状の奥行き幅から、透明板状体の透視歪の大きさを評価する。
Claim (excerpt)：
光を反射する面を有する被測定物の表面に実質的に点状の散乱光源から発せられた光を照射し、その反射光線を受光装置で受光して反射光の受光装置への入射方向に延びる直線を特定する工程Aと、被測定物の推定形状を関数の線形結合によって設定する工程Bと、前記直線と推定形状の面との交点を定める工程Cと、複数の光源位置から発せられた光に関し工程AおよびCを経て複数の交点を定める工程Dと、これら複数の交点における各々の光源から受光装置までの光路長の変分を用いた評価指標が規定値以下になるまで推定形状を補正し、最終的な推定形状を被測定物の測定形状とする工程Eと、を有する表面三次元形状の測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/24 C
, G06F 15/62 415
