ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000327358
Publication number (International publication number)：2002131914
Application date： Oct. 26, 2000
Publication date： May. 09, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】露光光源として、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光を用いた場合、ラインエッジラフネスが改善され、感度、解像力、レジスト形状、疎密依存性が優れたポジ型レジスト組成物を提供できる。【解決手段】環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、化合物式(I)(II)又は(III)及び、フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)下記一般式(I)又は(II)で表される化合物、及び、(D)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(一般式(I)において、R1、R2、R5、R6、R7、R8、R11及びR12は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、叉は炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。R3、R4、R9及びR10は炭素数1〜4のアルキル基を表す。Xは水素原子を表す。もしくは、XはR1と連結し二価の基を形成してもよい。Yは水素原子または【化2】を表す。ここで、R13、R14、R16及びR17は、各々独立に、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、叉は炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。R13叉はR17は、R6叉はR7と連結し二価の基を形成してもよい。R15は、水酸基、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基、叉は炭素数2〜4のジアルキルアミノ基を表す。一般式(II)において、R18〜R27は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、叉は炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。また、R22とR23が連結し二価の基を形成しても良い。)

IPC (8)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/04 , C08K 5/17 , C08L101/12 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

FI (8)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/04 , C08K 5/17 , C08L101/12 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

F-Term (45)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB41 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025DA34 , 2H025FA17 , 4J002AA031 , 4J002BG031 , 4J002BG071 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002CE001 , 4J002EB006 , 4J002EC037 , 4J002EF097 , 4J002EN029 , 4J002EN037 , 4J002EN047 , 4J002EN049 , 4J002EN077 , 4J002EN079 , 4J002EN099 , 4J002EN136 , 4J002EN139 , 4J002EQ016 , 4J002EU049 , 4J002EU119 , 4J002EU139 , 4J002EV216 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002FD206 , 4J002FD209 , 4J002FD318 , 4J002GP03

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