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J-GLOBAL ID：200903073925623345

センサ装置

Inventor： 中村 俊二 ,  三村 篤司 ,  佐藤 信太郎 ,  粟野 祐二
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004308065
Publication number (International publication number)：2006119021
Application date： Oct. 22, 2004
Publication date： May. 11, 2006
Summary：

【課題】 簡素な構成により高感度に各種物理量を測定する全く新しい技術思想に基づくセンサ装置を実現する。【解決手段】 基体1上に離間して設けられた一対の電極2,3と、電極2,3間に電圧又は電流を印加する電源4と、電極2,3間において、基体1上で当該電極2,3間を林立する複数の棒状導電体5からなる棒状導電体群6と、棒状導電体群6の近傍に設置されており、棒状導電体5を変形させ、棒状導電体5間の距離を変化させることを補助する変形補助機構7とからセンサ装置を構成する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

一対の電極と、 前記一対の電極間に電圧又は電流を印加する電源と、 前記一対の電極間の領域に林立する複数の棒状導電体と、 複数の前記棒状導電体の近傍又は少なくとも一部と接触するように設置されており、前記棒状導電体の変形及び前記棒状導電体間の距離の変化のうち少なくとも一方を補助する変形補助機構と を含むことを特徴とするセンサ装置。

IPC (9)：

G01D 5/14 ,  G01F 1/28 ,  G01L 1/14 ,  G01L 1/20 ,  G01L 9/02 ,  G01L 9/12 ,  G01P 5/04 ,  G01P 15/12 ,  G01P 15/18

FI (10)：

G01D5/14 P ,  G01F1/28 C ,  G01L1/14 J ,  G01L1/20 G ,  G01L9/02 ,  G01L9/12 ,  G01P5/04 E ,  G01P5/04 G ,  G01P15/12 Z ,  G01P15/00 K

F-Term (16)：

2F030CA05 ,  2F030CA10 ,  2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC11 ,  2F055DD19 ,  2F055EE18 ,  2F055EE25 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11 ,  2F077AA43 ,  2F077CC02 ,  2F077DD15 ,  2F077EE09 ,  2F077VV01 ,  2F077VV33

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ジャイロセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-046783   Applicant：光洋精工株式会社
• カーボンナノチューブを用いたセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-028348   Applicant：光洋精工株式会社