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J-GLOBAL ID：200903073931103108

硬質被覆層の成膜速度が速い表面被覆切削工具の製造法

Inventor： 須藤 俊克 ,  田中 徹也 ,  桜井 恵一
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 富田 和夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996293949
Publication number (International publication number)：1998140337
Application date： Nov. 06, 1996
Publication date： May. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 硬質被覆層の成膜速度が速い表面被覆切削工具の製造法を提供する。【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメット、酸化アルミニウム基セラミックス、窒化珪素基セラミックス、および高速度工具鋼のいずれかで構成された基体の表面にアークイオンプレーティング法を用いて硬質被覆層を物理蒸着する表面被覆切削工具の製造法において、アノード電極とカソード電極(蒸発源)の間に発生させるアーク放電を周期的断続放電とし、この放電条件を、1サイクルの時間:0.4〜2000マイクロ秒、1サイクル中の放電時間:0.2〜1000マイクロ秒、および1サイクル中の最大放電電圧:100〜200Vとする。

Claim (excerpt)：

炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメット、酸化アルミニウム基セラミックス、窒化珪素基セラミックス、および高速度工具鋼のいずれかで構成された基体の表面にアークイオンプレーティング法を用いて硬質被覆層を物理蒸着する表面被覆切削工具の製造法において、アノード電極とカソード電極(蒸発源)の間に発生させるアーク放電を周期的断続放電とし、この放電条件を、1サイクルの時間:0.4〜2000マイクロ秒、1サイクル中の放電時間:0.2〜1000マイクロ秒、1サイクル中の最大放電電圧:100〜200V、としたことを特徴とする硬質被覆層の成膜速度が速い表面被覆切削工具の製造法。

IPC (2)：

C23C 14/32 ,  B23B 27/14

FI (2)：

C23C 14/32 B ,  B23B 27/14 A