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J-GLOBAL ID：200903073952166649

光散乱式微粒子検出装置

Inventor： 持地 秀明 ,  阿部 孝
Applicant, Patent owner： リオン株式会社
Agent (1)： 田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993032817
Publication number (International publication number)：1994221989
Application date： Jan. 27, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：

【要約】【目的】レーザ光源を安定動作させることにより粒子検出精度を向上させる。【構成】レーザ光源3から出射する光源光LA1をフローセル2に入射させる構成として、戻り光LA11及びLA12がレーザ光源3に戻らないようにフローセル2を傾けるように位置決めする。かくして比較的大きい光エネルギーを有する光源光LA1が反射することにより生ずる戻り光LA11及びLA12の影響を受けないようにレーザ光源3の出力を安定化することができることにより、異常カウント動作をさせないようにできる。

Claim (excerpt)：

レーザ光源から出射された光源光を四角筒状のフローセルの第1の透過壁部を透過して上記フローセルの流路を流れる試験流体に照射し、上記試験流体に含まれる微粒子によつて生ずる散乱光のうち上記光源光の入射方向と直交する方向に散乱した部分を第2の透過壁部を透過して散乱光検出器に入射し、波高分析器において上記散乱光検出器から得られる微粒子検出信号が所定の基準レベルを超えたとき微粒子判定信号を発生し、上記微粒子判定信号を粒子計数器によつて計数することにより上記試験流体に含まれる微粒子の数を計数する光散乱式微粒子検出装置において、上記フローセルを、上記光源光のうち上記第1の透過壁部の表面において反射された部分により生ずる戻り光が上記レーザ光源に戻らないような傾き角度をもつように、位置決めしたことを特徴とする光散乱式微粒子検出装置。

IPC (3)：

G01N 15/14 ,  G01N 15/02 ,  G01N 21/53

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-136319
  
• 特開昭61-265550
  
• 特開平4-100724
  
• 特開昭46-003056
  
• 特開平4-008619