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J-GLOBAL ID：200903074032594351

ポリベンゾオキサゾール前駆体組成物および感光性樹脂前駆体組成物

Inventor： 藤田 陽二 ,  富川 真佐夫
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000063077
Publication number (International publication number)：2001249452
Application date： Mar. 08, 2000
Publication date： Sep. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な耐溶剤性に優れたポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリベンゾオキサゾール前駆体組成物であり、前記ポリベンゾオキサゾール前駆体組成物とo-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物である。【化1】のいずれかを示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から6価の有機基を示す。nは10から100000までの整数を示し、pは1から4までの整数を示す。R3、R4は水素、炭素数1から10までの有機基、ニトロ基、ハロゲン、パーフルオロアルキル基のいずれかを示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。x、yは1から4までの整数を示す。)

Claim (excerpt)：

一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリベンゾオキサゾール前駆体組成物。【化1】のいずれかを示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から6価の有機基を示す。nは10から100000までの整数を示し、pは1から4までの整数を示す。R3、R4は水素、炭素数1から10までの有機基、ニトロ基、ハロゲン、パーフルオロアルキル基のいずれかを示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。x、yは1から4までの整数を示す。)

IPC (7)：

G03F 7/037 ,  C08G 73/22 ,  C08K 5/41 ,  C08L 79/04 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (8)：

G03F 7/037 ,  C08G 73/22 ,  C08K 5/41 ,  C08L 79/04 B ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/312 A ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (55)：

2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CM021 ,  4J002EE056 ,  4J002EQ016 ,  4J002EV216 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J043PA01 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC065 ,  4J043PC135 ,  4J043PC145 ,  4J043PC165 ,  4J043RA05 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA26 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA361 ,  4J043UA381 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB151 ,  4J043UB301 ,  4J043XA04 ,  4J043XA13 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB47 ,  5F058AC06 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03