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J-GLOBAL ID:200903074062888651
光ビーム走査装置、これを含む製品および回折光学素子の製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (6):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004212696
Publication number (International publication number):2006030840
Application date: Jul. 21, 2004
Publication date: Feb. 02, 2006
Summary:
【課題】 製造コストの低減および小型化が可能な回折光学素子を用いた光ビーム走査装置、これを含む製品およびこれらに用いられる回折光学素子の製造方法を提供する。【解決手段】 光ビームを出射する光源と、光ビームを整形する回折光学素子と、光ビームの進行方向を変化させる光ビーム走査手段とを含む光ビーム走査装置であって、回折光学素子は、透光性基板と、透光性基板上に形成された相対的に高屈折率の複数の領域と相対的に低屈折率の複数の領域とを含む透光性DLC(Diamond Like Carbon:ダイアモンド状カーボン)膜とを含むことを特徴とする光ビーム走査装置、これを含む製品およびこれらに用いられる回折光学素子の製造方法である。【選択図】 図3
Claim (excerpt):
光ビームを出射する光源と、前記光ビームを整形する回折光学素子と、前記光ビームの進行方向を変化させる光ビーム走査手段と、を含む光ビーム走査装置であって、前記回折光学素子は、透光性基板と、前記透光性基板上に形成された相対的に高屈折率の複数の領域と相対的に低屈折率の複数の領域とを含む透光性DLC膜と、を含むことを特徴とする、光ビーム走査装置。
IPC (4):
G02B 26/10
, G02B 5/18
, G02B 27/09
, H04N 1/113
FI (4):
G02B26/10 D
, G02B5/18
, G02B27/00 E
, H04N1/04 104A
F-Term (15):
2H045CB24
, 2H045DA02
, 2H049AA02
, 2H049AA31
, 2H049AA33
, 2H049AA44
, 2H049AA55
, 5C072AA03
, 5C072BA01
, 5C072BA20
, 5C072DA02
, 5C072HA02
, 5C072HA13
, 5C072HA15
, 5C072XA05
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
レーザビーム走査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-184249
Applicant:富士通株式会社
Cited by examiner (3)
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