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J-GLOBAL ID：200903074066615013

ダイヤモンドの合成方法及び装置

Inventor： 坂本 幸弘 ,  三浦 毅
Applicant, Patent owner： 株式会社日本製鋼所
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991172757
Publication number (International publication number)：1993017290
Application date： Jul. 12, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明はダイヤモンドの合成方法及び装置に関し、同軸ケーブルを介して送られたマイクロ波を、アンテナを介して反応室内に導くことにより、任意の形状及び大きさの母材を反応室内の任意の位置においてダイヤモンドの成膜を行うことを特徴とする。【構成】 本発明によるダイヤモンドの合成方法及び装置は、プラズマCVD法により、反応室(2)内に含炭素ガスを供給し、試料台(3)上に設けられた母材(4)にダイヤモンドを合成するようにしたダイヤモンドの合成方法において、前記反応室(2)内に設けたアンテナ(13)に対し同軸ケーブル(11)を介してマイクロ波(1)を供給すると共に、前記アンテナ(13)を介して前記反応室(2)内に前記マイクロ波(1)を供給する方法である。

Claim (excerpt)：

プラズマCVD法により、反応室(2)内に含炭素ガスを供給し、試料台(3)上に設けられた母材(4)にダイヤモンドを合成するようにしたダイヤモンドの合成方法において、前記反応室(2)内に設けたアンテナ(13)に対し同軸ケーブル(11)を介してマイクロ(1)波を供給すると共に、前記アンテナ(13)を介して前記反応室(2)内に前記マイクロ波(1)を供給することを特徴とするダイヤモンドの合成方法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C30B 25/02 ,  H01L 21/205