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J-GLOBAL ID：200903074078751494
炭化水素ガスセンサ並びにその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997212971
Publication number (International publication number)：1998082755
Application date： Aug. 07, 1997
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 混合されている多種のガスのうち炭化水素ガスだけを効率よく選択して感知する炭化水素ガスセンサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に形成された電極上に炭化水素ガスだけを感知する感知層を形成し、その感知層上に還元性ガスと反応するオーバーコーティング層を形成する。【作用】 多種のガスの中の還元性ガスはオーバーコーティング層で反応して除去され、残りのガス中の炭化水素ガスだけが感知層で感知されて電極を介して出力する。
Claim (excerpt)：
基板の下側に発熱手段のヒータを形成する段階と、前記基板の上側に電極を形成する段階と、前記電極上に炭化水素だけを感知する感知層を形成する段階と、前記感知層上に還元性ガスと反応するオーバーコーティング層を形成する段階と、を備えることを特徴とする炭化水素ガスセンサの製造方法。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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