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J-GLOBAL ID：200903074091774363
原子間力顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992329417
Publication number (International publication number)：1994174459
Application date： Dec. 09, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】カンチレバーの捻れによる誤差を含んでいない試料表面の像を得られる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】カンチレバー12の自由端に光を照射する半導体レーザー22と30、その反射光を受ける二分割ディテクター24と32が設けられている。二分割ディテクター24は水平方向に分割された受光部24aと24bを有し、これらの出力は差動回路26に入力され、その差信号はカンチレバー12の自由端の縦変位を示す縦変位信号Sd を出力する制御回路28に入力されている。二分割ディテクター32は垂直方向に分割された受光部32aと32bを有し、それらの出力は差動回路34に入力されている。その差信号は、カンチレバー12の捻れ変位を示し、縦変位信号の誤差を算出する誤差算出回路36に入力されている。縦変位信号Sd と誤差信号Se は加算器38に入力されている。
Claim (excerpt)：
柔軟なカンチレバーの自由端に設けた探針を試料表面に沿って走査し、原子間力により生じるカンチレバーの自由端の変位を検出し、この変位に基づいて試料の表面形状を算出する原子間力顕微鏡において、カンチレバーの自由端部の縦変位と捩れ変位を検出し、これらの変位にそれぞれ対応した縦変位信号と捻れ変位信号とを出力する変位検出手段と、捩れ変位信号に基づいてカンチレバーの自由端部の捩れにより生ずる縦変位の誤差を算出し、その誤差信号を出力する誤差検出手段と、縦変位信号と誤差信号とに基づいて試料の表面形状を算出する形状算出手段とを備えていることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (3)：
G01B 21/30
, G01B 11/30
, H01J 37/28
