洗浄装置および洗浄方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高田守 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995127984
Publication number (International publication number)：1996318181
Application date： May. 26, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、基板上の汚染物を効率よく除去することができるように改良された装置を提供することを主要とする。【構成】当該装置は、液滴21を基板1に向けて噴出する噴出ノズル11を備える。噴出ノズル11には、液体供給手段23およびガス供給手段22が接続される。噴出ノズル11内には、噴出ノズル11内に供給された液体と気体とを混合し、液体を液滴21に変える混合手段が設けられている。

Claim (excerpt)：

基板の表面上に付着している汚染物を除去する洗浄装置であって、液滴を前記基板に向けて噴出する噴出ノズルと、前記噴出ノズルに接続され、該噴出ノズル内に液体を供給する液体供給手段と、前記噴出ノズルに接続され、該噴出ノズル内に気体を供給するガス供給手段と、前記噴出ノズル内に設けられ、該噴出ノズル内に供給された前記液体と前記気体とを混合し、前記液体を前記液滴に変える混合手段と、を備える洗浄装置。

IPC (8)：

B05B 7/00 , B01F 3/04 , B01F 5/06 , B05D 1/02 , B08B 3/02 , B08B 5/02 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304

FI (8)：

B05B 7/00 , B01F 3/04 Z , B01F 5/06 , B05D 1/02 Z , B08B 3/02 Z , B08B 5/02 , H01L 21/304 341 N , H01L 21/304 341 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-296475
気液噴射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-224975 Applicant：青山好高
特開昭60-090061

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