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J-GLOBAL ID：200903074140134120
自己修復性硬質固体潤滑膜及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 勝成 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992037260
Publication number (International publication number)：1993208806
Application date： Jan. 28, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：
【要約】【目的】 機械部品等の基材上に工業的に低コストプロセスで形成でき、高硬度でありながら摩擦係数が小さく、ホウ素を含有することによって自己修復性を供えた硬質固体潤滑膜、及びその製造方法を提供する。【構成】 基材上にプラズマCVD法又はイオンプレーティング法により形成され、少なくとも最外表面層がホウ素を3〜50原子%添加したダイヤモンド状炭素又は非晶質炭素からなる、摩擦係数が小さく自己修復性を有する硬質固体潤滑膜。
Claim (excerpt)：
基材上に設けられる硬質固体潤滑膜において、少なくともその最外表面層がホウ素を3〜50原子%添加したダイヤモンド状炭素又は非晶質炭素からなることを特徴とする、自己修復性硬質固体潤滑膜。
IPC (5)：
C01B 31/02 101
, C23C 14/06
, C23C 14/32
, C23C 16/26
, C30B 29/04
