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J-GLOBAL ID：200903074142345640
半導体ウエーハ保管・運搬容器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991238521
Publication number (International publication number)：1993082632
Application date： Sep. 19, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】発塵源をもつ物を添付することなく、製造管理を容易に遂行出来る。【構成】複数枚のウェーハ6を収納する棚1aを有する箱体1の側面に、製造枚数,ロット番号及び製造工程名等のデータを入力し、表示する電子式表示板2と、この電子表示板2を駆動する駆動回路部3と、コンピュータと交信する交信機構部4とを取付けることによって、収納されるウェーハ6の製造履歴を送信・更新を行うことを特徴としている。
Claim (excerpt)：
半導体ウェーハが収納される棚が形成される箱体と、この箱体の一側面に取付けられる電子式表示板と、この電子式表示板を駆動する駆動回路及び電源部と、コンピュータと交信する交信機構とを備えることを特徴とする半導体ウェーハ保管・運搬容器。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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