薬液供給方法および薬液供給装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：筒井大和 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998290525
Publication number (International publication number)：2000120530
Application date： Oct. 13, 1998
Publication date： Apr. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】液体中の気泡やゲル化した部分などの品質不良部分を除去して清浄度を高めて液体を吐出し得るようにする。【解決手段】戻し流路53と液体吐出流路48とを閉じた状態のもとで、ポンプ室17を拡張させて液体収容部46内の液体をフィルタ41を介してポンプ室17内に吸入し、フィルタ41のベントポート41cと戻し流路53とを開きかつ液体導入流路42と液体吐出流路48とポンプ入口流路47とを閉じた状態のもとで、ポンプ室17を収縮させてポンプ室17内の液体をフィルタ41側に戻してフィルタ41内の空気を外部に排気し、戻し流路53とポンプ入口流路47とを閉じた状態のもとで、ポンプ室17を収縮させて塗布ノズル50から液体を吐出する。

Claim (excerpt)：

フィルタ入口に接続される液体導入流路を介して液体収容部に連通されるフィルタと、ポンプ入口流路を介してフィルタ出口に接続され拡張収縮するポンプ室を有するポンプと、ポンプ出口に液体吐出流路を介して接続された液体吐出部と、前記ポンプから吐出された液体を前記液体導入流路側に戻す戻し流路とを有する薬液供給装置を用いた薬液供給方法であって、前記戻し流路と前記液体吐出流路とを閉じた状態のもとで、前記ポンプ室を拡張させて前記液体収容部内の液体を前記フィルタを介して前記ポンプ室内に吸入する吸入工程と、前記フィルタのベントポートと前記戻し流路とを開きかつ前記液体導入流路と前記液体吐出流路と前記ポンプ入口流路とを閉じた状態のもとで、前記ポンプ室を収縮させて前記ポンプ室内の液体を前記フィルタ側に戻して前記フィルタ内の空気を外部に排気する排気工程と、前記戻し流路と前記ポンプ入口流路とを閉じた状態のもとで、前記ポンプ室を収縮させて前記液体吐出部から液体を吐出する吐出工程とを有することを特徴とする薬液供給方法。

IPC (5)：

F04B 15/00 , B05C 11/10 , F04B 43/10 , G03F 7/16 501 , H01L 21/027

FI (5)：

F04B 15/00 , B05C 11/10 , F04B 43/10 , G03F 7/16 501 , H01L 21/30 564 C

F-Term (31)：

2H025AA00 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025EA05 , 3H075AA09 , 3H075BB04 , 3H075CC23 , 3H075CC28 , 3H075DA05 , 3H075DA06 , 3H075DA11 , 3H075DA13 , 3H075DB10 , 3H075DB47 , 3H077AA08 , 3H077CC03 , 3H077CC07 , 3H077DD09 , 3H077DD15 , 3H077EE25 , 3H077FF13 , 3H077FF15 , 4F042AA07 , 4F042AB00 , 4F042CB02 , 4F042CB03 , 4F042CB20 , 4F042CB24 , 4F042CB25 , 5F046JA01

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