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J-GLOBAL ID:200903074169324050

垂直加速型飛行時間型質量分析装置のイオン加速部

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999097191
Publication number (International publication number):2000294188
Application date: Apr. 05, 1999
Publication date: Oct. 20, 2000
Summary:
【要約】【課題】イオン加速部を構成する電極の汚れを低減して電極のチャージアップを防止することができ、また、メッシュの汚れに起因するチャージアップの影響を、メッシュを交換することなく低減させることのできる垂直加速型飛行時間型質量分析装置のイオン加速部を提供する。【解決手段】所定のイオン引き出しグリッドの後段に配置される電極群に設けられたイオン通過口の口径を、所定のイオン引き出しグリッド自身のイオン透過口の口径よりも大きくした。また、電極群に設けられたイオン通過口を、イオンの飛跡に沿って斜め方向に配列した。また、イオン加速部を構成する複数段の電極の一部を、イオン溜に導入されるイオン流の上流側に向けて所定量だけシフトさせた。また、メッシュの平面方向にメッシュを平行移動させる移動機構を設けた。また、メッシュが置かれた平面内でメッシュを回転移動させる回転移動機構を設けた。
Claim (excerpt):
イオン溜に導入されたイオンを導入方向と交差する方向に押し出して加速するイオン押し出しプレートと、該イオン押し出しプレートと平行に配置され、イオン通過口にメッシュを有する所定の段数の電極で構成され、イオン押し出しプレートと協同してイオンをイオン溜から引き出して加速するイオン引き出しグリッドと、条件によっては該イオン引き出しグリッドの後段に配置され、イオン通過口にメッシュを有しない所定の段数の電極で構成され、イオン溜から引き出されたイオンをさらに加速するイオン加速プレートと、前記イオン引き出しグリッドまたはイオン加速プレートの後段に配置され、イオン通過口にメッシュを有する所定の段数の電極で構成され、イオン加速部の終端部に所定の電位を与える出口グリッドとから成る垂直加速型飛行時間型質量分析装置のイオン加速部において、前記イオン押し出しプレートに近接する所定のイオン引き出しグリッドの後段に配置される電極群に設けられたイオン通過口の口径を、前記イオン押し出しプレートに近接する所定のイオン引き出しグリッド自身のイオン通過口の口径よりも大きくしたことを特徴とする垂直加速型飛行時間型質量分析装置のイオン加速部。
IPC (3):
H01J 49/40 ,  H01J 49/06 ,  G01N 27/62
FI (3):
H01J 49/40 ,  H01J 49/06 ,  G01N 27/62 K
F-Term (2):
5C038FF07 ,  5C038FF13

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