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J-GLOBAL ID：200903074204476275
透明板欠陥検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003141188
Publication number (International publication number)：2004317470
Application date： Apr. 11, 2003
Publication date： Nov. 11, 2004
Summary：
【課題】ガラス板のような透明板に発生したクラック(割れ)を画像で捉えて検出する検査装置であって、クラックの方向と照明手段の照射方向との関係にかかわらずクラックの検出が可能な透明板の欠陥を検出する検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の透明板欠陥検査装置によれば、異なる波長の光を照射する複数の光源を異なる方向から検査対象物に照射し、これらの複数の異なる波長の光を選択的に撮像することによりいずれかの波長の光源により、クラックの画像の撮像が可能となる。その結果、クラックの方向に関係なく、また他の複数の光源の照明に邪魔されること無く、透明な板状部材に形成されたクラックを画像として撮像することが可能となり、透明な板状部材の検査精度が向上する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
透明板に照射する複数の光源からなる照明手段と、前記透明板を撮像する撮像手段とから成り、前記透明板上に存在するクラック等の方向性を有する欠陥を検査する透明板欠陥検査装置であって、
前記照明手段は波長の異なる光を光源とする複数の光源により成り、それぞれの光源は異なる照射方向から透明基板に照射することを特徴とする透明板欠陥検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (12)：
2G051AA42
, 2G051AA90
, 2G051AB03
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051BA20
, 2G051BB01
, 2G051BB20
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051DA06
, 2G086EE12
